化学机械研磨

化学机械研磨设备的制作方法
更新时间:2019-11-16 19:01 浏览:74 关闭窗口 打印此页

  磨液在研磨液水箱中自动形成循环,避免研磨液的结晶,提高研磨液的利用率。 使用现有的化学机械研磨装置极易造成研磨液分流管道2正下方的位置出现结

  权利要求一种化学机械研磨设备,包括研磨液水箱、研磨液入口管道、研磨液分流管道以及研磨液出口管道、研磨液过滤单元和研磨单元;研磨液入口管道的底端与研磨液分流管道的中部连通并将研磨液分流管道分成第一段和第二段,所述第一段和第二段均具有根部和顶部;第一段的根部与第二段的根部相连通,第一段的顶部具有第一外侧出口,第二段的顶部具有第二外侧出口;其特征在于,所述研磨液分流管道上至少还开设一个内侧出口。

  下方的位置出现结晶和沉淀问题,导致化学研磨液不必要的滤除而使得资源浪费。 为实现上述发明目的,本实用新型提供了一种化学机械研磨设备,包括研磨液水

  3. 根据权利要求2所述的化学机械研磨设备,其特征在于,第一内侧出口和第二内侧出口的开口方向相反。

  箱、研磨液入口管道、研磨液分流管道以及研磨液出口管道、研磨液过滤单元和研磨单元;

  5. 根据权利要求1所述的化学机械研磨设备,其特征在于,所述研磨单元为一个或多小

  一段的顶部具有第一外侧出口,第二段的顶部具有第二外侧出口 ;所述研磨液分流管道上

  专利摘要本实用新型公开了一种化学机械研磨设备,包括研磨液水箱、研磨液入口管道、研磨液分流管道以及研磨液出口管道、研磨液过滤单元和研磨单元;研磨液入口管道的底端与研磨液分流管道的中部连通并将研磨液分流管道分成第一段和第二段,所述第一段和第二段均具有根部和顶部;第一段的根部与第二段的根部相连通,第一段的顶部具有第一外侧出口,第二段的顶部具有第二外侧出口;所述研磨液分流管道上至少还开设一个内侧出口。由内侧出口流出的研磨液形成的循环流动使得研磨液分流管道附近的研磨液不会产生结晶和沉淀,防止由于结晶而导致的不必要生产原料浪费。

  2. 根据权利要求1所述的化学机械研磨设备,其特征在于,所述第一段上开设有第一内侧出口 ,所述第二段上开设有第二内侧出口 。

  至少还开设一个内侧出口。 优选的,所述第一段上开设有第一内侧出口,所述第二段上开设有第二内侧出口。 第一内侧出口和第二内侧出口的开口方向相反。 第一外侧出口与第二外侧出口的开口方向相反。 可选的,所述研磨单元为一个或多个。

  研磨液分流管道2两端分别开设外侧出口 4,且两个外侧出口的开口方向相反,从而使得研

  液通过研磨液入口管道1导入研磨液水箱,研磨液入口管道1底部接研磨液分流管道2,在

  研磨液入口管道的底端与研磨液分流管道的中部连通并将研磨液分流管道分成第一段和

  随着半导体组件线宽縮减及层数的增加,平坦化制程已是不可或缺,化学机械研 磨(CMP)是目前平坦化制程的主要技术,其利用研磨垫及研磨液,进行机械研磨移除与化 学侵蚀的双重研磨,来移除晶圆表面的物质,可让产品表面达到全面性的平坦化,以利后续 薄膜沉积的进行。 公知化学机械研磨流程里还包括有过滤单元,是在化学机械研磨单元之前过滤该 研磨液,将研磨液里所含过大的、沉淀的、或结块的研磨颗粒滤除,以保持该研磨液的稳定 性与连续性,避免产品于研磨过程中被刮伤。 如图1所示,是现有的化学机械研磨设备的示意图,泵(图中未示出)将研磨液从

  分流管道下方的研磨液不会产生结晶和沉淀。 2、防止由于结晶而导致的过滤单元过滤结晶的研磨液而造成的不必要生产原料浪费。

  研磨液水箱中吸入研磨液出口管道,通过一系列的研磨液过滤单元、研磨单元,多余的研磨

  做详细的说明。 图2为本实用新型的化学机械研磨设备,应用于化学机械研磨制程,该装置包括一个研磨液水箱21、一个研磨液入口管道22、研磨液分流管道23,第一外侧出口 24、第二外侧出口 25、第一内侧出口 26、第二内侧出口 27以及研磨液出口管道28、研磨液过滤单元29和化学机械研磨单元30。 研磨液入口管道22的底端与研磨液分流管道23的中部连通,并将所述的研磨液分流管道23分为第一段和第二段;所述第一段和第二段均具有根部和顶部;第一段的根部与第二段的根部相连通,第一段的顶部具有第一外侧出口 24,第二段的顶部具有第二外侧出口 25第一外侧出口 24与第二外侧出口 25开口方向相反,使得研磨液分别从第一外侧出口 24和第二外侧出口 25流出时,形成顺时针或者逆时针循环流动。 在研磨液分流管道上开设若干个内侧出口。本实用新型优选为2个,即在研磨液分流管道23第一段上开设第一内侧出口 26和第二段上开设第二内侧出口 27,第一内侧出口 26和第二内侧出口 27的开口方向相反,使得研磨液分别从第一内侧出口 26和第二内侧出口 27流出时,形成顺时针或者逆时针循环流动。 本实用新型,利用研磨液入口管道21将研磨液注入进研磨液分流管道23中,进入研磨液分流管道23的研磨液分别从第一外侧出口 24、第二外侧出口 25、第一内侧出口 26和第二内侧出口 27流出,形成顺时针或者逆时针循环流动,使得研磨液在研磨液分流管道23的中心正下方的研磨液不会形成结晶或沉淀。接着研磨液从研磨液出口管道28流出研磨液水箱21,经过研磨液过滤单元29过滤后,流到若干个研磨单元中30中,多余的研磨液再从研磨液入口管道22流入研磨液水箱21。 通过本实用新型使得研磨液能够较好地流入过滤单元而不会在研磨液分流管道下沉淀和结晶大量地研磨液杂质,并且减少了不必要的生产资源浪费。 虽然本实用新型已以较佳实施例披露如上,但本实用新型并非限定于此。任何本领域技术人员,在不脱离本实用新型的精神和范围内,均可作各种更动与修改,因此本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

  实用新型内容本实用新型解决的问题是现有的化学机械研磨装置极易造成研磨液入口管道正

  由于采用了上述技术方案,与现有技术相比,本实用新型具有以下优点 1、由于第一内侧出口和第二内侧出口流出的研磨液形成的循环流动使得研磨液

  4. 根据权利要求1所述的化学机械研磨设备,其特征在于,第一外侧出口与第二外侧出口的开口方向相反。

  第二段,所述第一段和第二段均具有根部和顶部;第一段的根部与第二段的根部相连通,第

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